دانلود شبیه سازی و ترجمه مقاله تعویض کننده ی فاز خط تاخیر مایکرواستریپ با تحریک غشا یکپارچه ی سطح زمین

1- مقدمه 2- تئوری 3- نتایج شبیه سازی تعویض کننده ی فاز خط تأخیری 4- نتایج انحراف و ساخت غشا 5- نتایج اندازه گیری تعویض کننده ی فاز خط تأخیر 6- نتیجه گیری

چکیده: طراحی، شبیه سازی، ساخت، اندازه گیری، وعملکرد یک تعویض کننده ی فاز خط تأخیری مایکرواستریپ V باند با استفاده الکترواستاتیکی از غشاء یکپارچه ی میکرو ماشین سطح زمین ارائه شده است. خط مایرواستریپ روی یک زیرلایه ی سیلیکونی RFIC پسند حک شده است. این غشاء از میکرو نوارهای آلومینیومی ساخته شده و روی سطح زمین و در کنار زیرلایه ی سیلیکونی مورد استفاده قرار گرفته است. تحریک این نوارها در خطوط انتقال، یک فاصله ی هوایی بین بستر فرکانس رادیویی (RF ) و سطح زمین ایجاد می کند. با کنترل ضخامت فاصله ی هوایی، یک تغییر فاز قابل کنترل در خط انتقال حاصل می گردد. در هر کدام از میکرونوارها، طول برابر 3.20 میلی متر، عرض برابر 20 میکرو مترو ضخامت برابر 1 میکرو متر می باشد. ولتاژ تحریک یک تغییر فاز اندازه گیری شده در دمای 41 درجه ی سانتی گراد و فرکانس 50 گیگاهرتز برای 120 ولت می باشد. فرآیند ساخت، یک فاصله ی هوایی 20 میکرو متری بین میکرو نوار و بستر RF ایجاد می کند و ولتاژ تحریک مورد نیاز برای تعویض فاز مفروض را افزایش می دهد. نتایج این تعویض فاز شبیه سازی شده با اندازه گیری ها هم خوانی دارد.

The design, simulation, fabrication, measurement and performance of a V-band microstrip delay line phase shifter using electrostatically actuated integrated micro-machined ground plane membranes are presented. The microstrip line is etched on an RFIC-friendly silicon substrate. The membrane is made of aluminium micro-ribbons and is fabricated on the ground plane side of the silicon substrate. The actuation of the ribbons away from the transmission line introduces an air gap between the radio-frequency (RF) substrate and the ground plane. By controlling the air gap thickness, a controllable phase shift in the transmission line is obtained. Each micro-ribbon measures 3.20 mm in length, 20 mm in width and 1 mm in thickness. A measured phase shift of 418 at 50 GHz was achieved with an actuation voltage of 120 V. The fabrication process added a 20 mm initial air gap between the micro-ribbons and RF substrate, increasing the required actuation voltage for a given phase shift. The simulated phase shift results agree well with the measurements.